Micsig Blog Artikel

Anwendung der Micsig SigOFiT Optical-Fiber Isolated Probe für die dynamische Charakterisierung von Siliziumkarbid (SiC) MOSFETs

Siliziumkarbid (SiC)-MOSFETs sind Metall-Oxid-Halbleiter-Feldeffekttransistoren, die aus SiC-Materialien mit breiter Bandlücke hergestellt werden. Im Vergleich zu herkömmlichen Silizium-MOSFETs bieten SiC-Bauelemente eine höhere Sperrspannung, einen geringeren Durchlasswiderstand, ein schnelleres Schaltverhalten und eine bessere Leistung bei hohen Temperaturen und hohen Frequenzen.

Fallübersicht:
Die dynamische Charakterisierung von SiC-MOSFETs ermöglicht es Ingenieuren, wichtige Parameter wie die Schaltgeschwindigkeit und die Schaltverluste zu ermitteln und so die Struktur und das Gehäuse der Bauelemente zu optimieren. Die ultraschnellen Schaltvorgänge von SiC-MOSFETs stellen jedoch höhere Anforderungen an die parasitären Eigenschaften des Messaufbaus. Streuinduktivität und -kapazität können die Messgenauigkeit beeinträchtigen, so dass die Optimierung des Systems und die Kontrolle der Störeinflüsse entscheidend sind.

Testfall

Zu prüfendes Gerät (DUT): CREE C3M0075120K SiC MOSFET
Prüfpunkte: Drain-Source-Spannung (Vds) und Gate-Source-Spannung (Vgs)
Herausforderungen bei der Prüfung: Passive Standardtastköpfe und herkömmliche differentielle Spannungstastköpfe führen übermäßige parasitäre Parameter ein. Aufgrund des sehr hohen dv/dt der SiC-MOSFET-Schaltung interagieren die Induktivität und die Kapazität des Tastkopfs mit der Prüfschaltung, was zu einem ausgeprägten Spannungsschwingen oder Überschwingen führt. Außerdem erzeugt die parasitäre Kapazität Verschiebungsströme, die die gemessenen Stromsignale mit unerwünschten Komponenten überlagern und so die Gesamtgenauigkeit verringern.

Testauswertung

Um die Leistung von SiC-MOSFETs zu analysieren, wurde ein dynamischer Schalttest aufgebaut. Der Aufbau verwendete C3M0075120K SiC-MOSFETs zusammen mit C4D10120A Freilaufdioden. Die Gate-Steuerung wurde mit dem Treiber UCC21520 realisiert.

Um die Messgenauigkeit zu erhalten:

Die Drain-Source-Spannung (Vds) und die Gate-Source-Spannung (Vgs) wurden mit isolierten Micsig MOIP200P-Glasfasersonden erfasst, die Folgendes bieten

o 200 MHz Bandbreite
o 180 dB Gleichtaktunterdrückung (CMRR)
o Extrem niedrige parasitäre Kapazität (1 pF)

Der Drain-Source-Strom (Ids) wurde mit einer Hioki 3276 Stromzange gemessen (100 MHz Bandbreite)

Die Spannungs- und Stromsonden wurden mit einer zeitlich abgestimmten Kalibrierungsschaltung synchronisiert

Reihenfolge der Wellenformen (von oben nach unten):

  1. Gate-Source-Spannung (Vgs)

  2. Drain-Source-Spannung (Vds)

  3. Drain-Source-Strom (Ids)

Testbeobachtungen

SiC-MOSFETs wiesen Schaltübergänge unter 20ns auf

Das festgestellte Klingeln der Wellenform resultierte hauptsächlich aus der parasitären Induktivität der Leistungsschleife (eine normale Eigenschaft)

EMI bei Hochgeschwindigkeitsschaltungen wurde durch die optische Isolierung wirksam unterdrückt

Vorteile von faseroptisch isolierten Prüfköpfen

  1. Hohe CMRR (180dB) ermöglicht genaue Messungen in starken EMI-Umgebungen

  2. Ultra-niedrige parasitäre Kapazität (1pF) reduziert Verschiebungsstromfehler

  3. Faseroptische Übertragung verhindert Störungen durch Erdschleifen

  4. Bewahrte Kurvenformtreue unterstützt präzise Bewertung der Schaltverluste

Kunden-Feedback

Die MOIP200P-Tastköpfe liefern:

- Starke Hochfrequenz-EMI-Unterdrückung durch 180dB CMRR
- Saubere Vgs- und Vds-Wellenformen, die mit Simulationsmodellen übereinstimmen
- Zuverlässige Daten für Schaltverlustberechnungen

 

Technischer Fortschritt im Vergleich zu konventionellen Ansätzen

Grenzen der herkömmlichen Messung:

  1. Parasitäre Effekte

Hohe parasitäre Kapazitäten (10-50pF) → Artefakte durch Verschiebungsströme
Übermäßige Induktivität → Spannungsschwankungen, die das wahre Schaltverhalten verschleiern

  1. EMI-Empfindlichkeit

Niedriges CMRR (<60dB) → Wellenformverzerrung bei hohem dv/dt
Erdschleifenkopplung → erhöhtes Risiko von Geräteschäden

Vorteile der SigOFiT Optical-Fiber Isolated Probe:

  1. Hochpräzise Messung

1pF parasitäre Kapazität verringert den Stromfehler um das 10-50-fache
180dB CMRR bietet eine etwa 1000-fache Verbesserung der EMI-Unterdrückung

  1. Fortschritt auf Systemebene

Unterstützt die Korrelation vom Bauelementedesign bis zum Systemeinsatz
Erleichtert der Industrie die Migration von Silizium- zu Wide-Bandgap-Halbleiterplattformen

Conclusion

Academic Reference

L. Zhang, Z. Zhao, R. Jin, et al., “SiC MOSFET Turn-Off Measurement With Air-Core Inductor Design and RC Snubber Correction,” IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement, vol. 74, pp. 1-13, 2025, Art no. 1005013, doi: 10.1109/TIM.2025.3545173.

Related articles

Micsig - Blog Artikel - Logo

Application of Micsig SigOFiT Optical-Fiber Isolated Probe

Learn how optical-fiber isolated probes enable accurate Vgs and Vds measurement in SiC MOSFET dynamic testing, minimizing parasitics and EMI for precise switching loss analysis.
Micsig - Blog Artikel - Logo

Using Optically Isolated Probes to Test High-Power DC Power Supplies

Learn how high common-mode rejection optical probes, high-resolution oscilloscopes, and Rogowski current probes deliver accurate high-speed waveform measurement in power supply testing and semiconductor development.
Micsig - Blog Artikel - Logo

A Common Misunderstanding About Optical-Fiber Isolated Probes

Understand the difference between differential voltage and common-mode voltage and why optical-fiber isolated probes outperform traditional differential probes in high-dv/dt SiC and GaN power circuits.
Micsig - Blog Artikel - Logo

Application Example of Optically Isolated Probe in Double Pulse Testing of New Energy Vehicle Motor Controllers

Learn how optically isolated probes with high CMRR improve double pulse testing of SiC and GaN motor controllers in new energy vehicles, delivering accurate Vgs and current measurements.
Micsig - Blog Artikel - Logo

Fibre optic insulated probe during the double pulse test

Optical isolation probes are essential for precise double-pulse tests on WBG semiconductors due to their high resistance.
Micsig - Blog Artikel - Logo

Misunderstanding Signal Frequency in Power Device Bridge Circuits: Switching Frequency vs. Signal Bandwidth

Understand the difference between switching frequency and signal frequency in power device bridge circuits. Learn why high-bandwidth probes are critical for accurate Vgs and Vge measurements in SiC and GaN applications.
Micsig - Blog Artikel - Logo

What Are Common-Mode and Differential-Mode Signals

Learn the difference between common-mode and differential-mode signals and why high CMRR is essential in optically isolated probes for accurate GaN and SiC power electronics testing.